1006   コマンド実行条件エラー: 冷却水の流量（IF）が低すぎるため、実行できません。

冷却水の流量（RF/WC/IF）が制限値未満のため、指定されたコマンドを実行できません。

以下の問題の可能性がないか、冷却水の流量（RF/WC/IF）をチェックしてください。

• 冷却水供給の電源が入っていない。
• ICP-MSICP-QQQまたは冷却水供給のバルブが閉じている。
• 冷却水ストレーナが詰まっている。
• 冷却水が不足している（水漏れの可能性あり）。
• ICP-MSICP-QQQのチューブが詰まっていて、電磁弁に欠陥がある。
• 流量センサまたは接続PCAが故障している。