1010   コマンド実行条件エラー: 真空圧力（IF）が高いため、ゲート弁を開くことができません。

真空圧力（IF/BK）が制限値を超えているためゲート弁を開くことができません（装置がスタンバイモードから分析モードへ移行中の場合）。

以下の問題の可能性がないか、真空圧力（IF/BK）をチェックしてください。

• サンプリングコーンのオリフィスが大きすぎる。
• サンプリングコーンのシールが不完全である（ガスケットの欠陥）。
• プラズマがサンプリングコーンから離れすぎている。
• フォアラインポンプの電源が接続されていないか、ブレーカがオフである。
• フォアラインポンプのオイルレベルが低いか、オイルが汚れている。
• 真空チューブが故障している（チューブがオフか、ピンホールやO-リングの不良など不完全なシールのため漏れが発生している）。
• 真空チャンバに水滴が入り込んだ。
• ピラニーゲージ（IF/BK）または接続PCAに不具合がある。