1041   コマンド実行条件エラー: 第4 マスフローコントローラストップバルブを操作できません。

第4 MFC は、分析モードまたはスタンバイモードでのメンテナンス時にのみ、そして現在の流量がゼロである時のみ取り扱うことができます。

ICP-MS のモードをチェックし、第4 MFC の現在の流量がゼロであることをチェックします。