1101   エラー: 真空（BK）タイムアウト。 真空圧力（BK）が高いため、ターボポンプを始動できません。

所定の時間内に真空圧力（IF/BK）が制限値未満にならないため、ターボ分子ポンプが機能しません（装置が停止モードからスタンバイモードへ移行中の場合）。

以下の問題の可能性がないか、真空圧力（IF/BK）をチェックしてください。

• ベントバルブが閉じていないか、シールが不完全である。
• 真空チャンバのカバーが閉じていないか、シールが不完全である。
• フォアラインポンプの電源が接続されていないか、ブレーカがオフである。
• フォアラインポンプのオイルレベルが低いか、オイルが汚れている。
• ゲート弁に漏れがある。
• 真空チューブが故障している（チューブがオフか、ピンホールやO-リングの不良など不完全なシールのため漏れが発生している）。
• ピラニーゲージ（IF/BK）または接続PCAに不具合がある。
• ターボポンプのバッキングポートとフォアラインポンプの入力間のバッキングラインに漏れがある。