1103   エラー: 真空圧力（BK）が高いため、ターボポンプを起動 にできません（起動可能上限値以上）。

真空圧力（IF/BK）が制限値を超えているためターボ分子ポンプをONにできないか、真空圧力が異常に増加したためターボ分子ポンプがOFFになりました（装置が停止モードからスタンバイモードへ移行中の場合）。

以下の問題の可能性がないか、真空圧力（IF/BK）をチェックしてください。

• ベントバルブが閉じていないか、シールが不完全である。
• 真空チャンバのカバーが閉じていないか、シールが不完全である。
• フォアラインポンプの電源が接続されていないか、ブレーカがオフである。
• フォアラインポンプのオイルレベルが低いか、オイルが汚れている。
• ゲート弁に漏れがある。
• 真空チューブが故障している（チューブがオフか、ピンホールやO-リングの不良など不完全なシールのため漏れが発生している）。
• ピラニーゲージ（IF/BK）または接続PCAに不具合がある。