1122   エラー: イオンゲージ(AN)故障。

イオンゲージが正しく機能していません(装置が停止モードからスタンバイモードへ移行中の場合)。

停止モードに変更し、ベントバルブを2秒間緩めて空気を導入してから、真空を再起動することで、イオンゲージが回復する場合があります。

イオンゲージ、イオンゲージケーブル、あるいはコネクションボードが故障している。