1123   エラー: 真空（AN）タイムアウト。 真空圧力（AN）が高いため、スタンバイモードに移行できません。

所定の時間内に真空圧力（AN）が制限値未満にならないため、装置がスタンバイモードに移行できません（装置が停止モードからスタンバイモードへ移行中の場合）。

以下の問題の可能性がないか、アナライザーチャンバーの圧力をチェックしてください。真空ポンプを長期間使用していない場合にも、このエラーが発生します。この場合は、真空を再度ONにします。

• ベントバルブが閉じていないか、シールが不完全である。
• 真空チャンバのカバーが閉じていないか、シールが不完全である。
• フォアラインポンプの電源が接続されていないか、ブレーカがオフである。
• フォアラインポンプのオイルレベルが低いか、オイルが汚れている。
• ゲート弁に漏れがある。
• 真空チューブが故障している（チューブがオフか、ピンホールやO-リングの不良など不完全なシールのため漏れが発生している）。
• イオンゲージの不具合のため、真空圧力（AN）を正しく測定できない。
• ターボ分子ポンプに不具合がある。
• 真空チャンバの一部の部品が完全に乾燥していない。