1124   エラー: 真空（AN）タイムアウト。 真空圧力（AN）が高いため、分析モードに移行できません。

所定の時間内に真空圧力（AN）が制限値未満になりません。そのため、装置が分析モードに移行できませんでした（装置がスタンバイモードから分析モードへ移行中の場合）。

以下の問題の可能性がないか、アナライザーチャンバーの圧力とインターフェースラインをチェックしてください。

• サンプリングコーンのオリフィスが大きすぎる。
• サンプリングコーンのシールが不完全である（ガスケットの欠陥）。
• プラズマがサンプリングコーンから離れすぎている。
• スキマコーンの穴の内径が大きすぎる。
• スキマコーンとスキマベースの取り付けが不完全である。
• プレートバイアスレンズの取り付けが不完全である。
• フォアラインポンプの電源が接続されていないか、ブレーカがオフである。
• フォアラインポンプのオイルレベルが低いか、オイルが汚れている。
• 真空チューブが故障している（チューブがオフか、ピンホールやO-リングの不良など不完全なシールのため漏れが発生している）。
• イオンゲージの異常のため、真空圧力（AN）を正しく測定できない。