1127   エラー: 真空圧力（AN）が高いため、スタンバイモードを維持できません。

真空圧力（AN）が制限値を超えているか、真空圧力（AN）が異常に上昇したため、スタンバイモードを維持できません（スタンバイモードの場合）。

以下の問題の可能性がないか、アナライザーチャンバーの圧力をチェックしてください。

• ベントバルブが閉じていないか、シールが不完全である。
• 真空チャンバのカバーが閉じていないか、シールが不完全である。
• フォアラインポンプの電源が接続されていないか、ブレーカがオフである。
• フォアラインポンプのオイルレベルが低いか、オイルが汚れている。
• 真空チューブが故障している（チューブがオフか、ピンホールやO-リングの不良など不完全なシールのため漏れが発生している）。
• ゲート弁に漏れがある。
• イオンゲージの不具合のため、真空圧力（AN）を正しく測定できない。
• ターボ分子ポンプに不具合がある。