1131   エラー: 真空（AN）タイムアウト。 ゲート弁クローズ後の真空圧力（AN）が高すぎます。

真空圧力（AN）が制限値を超えています。装置がスタンバイモードに移行できません（装置が分析モードからスタンバイモードへ移行中の場合）。

以下の問題の可能性がないか、アナライザーチャンバーの圧力をチェックしてください。

• ゲート弁に漏れがある。