1133   エラー: ターボポンプ（A）回転数が既定値以下です。

ターボ分子ポンプの回転数が制限値未満になりました（装置が停止モードからスタンバイモードへ移行中の場合）。

以下の問題の可能性がないか、ターボ分子ポンプの回転数と電流、真空圧力（AN）、真空圧力（IF/BK）、および電圧をチェックしてください。

• 真空圧力が増加している。
• ターボ分子ポンプのコネクタが外れている。
• ターボ分子ポンプの電源の故障。
• ターボ分子ポンプまたはターボ分子ポンプコントローラの故障。
• 接続PCAに不具合がある。