1135   エラー: ゲート弁異常。ゲート弁を再度閉じました。

装置がスタンバイモードから分析モードへ移行中に、ゲート弁が閉じます。

プラズマが突然OFFになり、インターロックシステムが自動的にゲート弁を閉じると、この状況が発生する場合があります。プラズマが点火している状態でゲート弁が閉じた場合は、ゲート弁の動作をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• プラズマセンサの光ケーブルが外れている。
• プラズマセンサの光ケーブルに欠陥がある。
• ゲート弁のコネクタが外れている。
• ゲート弁の接続PCAまたは電磁弁に不具合がある。