1141   エラー: 分析モードにおいて、異常によりゲート弁が閉まりました。

分析モード中にゲート弁が閉じました。

ゲート弁をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• ゲート弁のコネクタが外れている。
• ゲート弁の故障。
• ゲート弁の接続PCAまたは電磁弁に不具合がある。
• プラズマが消えた。