1143   エラー: ターボポンプが分析モードの目標速度になっていません。

ターボ分子ポンプの回転数が制限値未満になりました（分析モードの場合）。

ターボ分子ポンプの回転数と電流、真空圧力（AN）、真空圧力（IF/BK）、および電源電圧をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• 真空圧力が増加している。
• ターボ分子ポンプのコネクタが外れている。
• ターボ分子ポンプの電源（24V）の不具合。
• ターボ分子ポンプまたはターボ分子ポンプコントローラの不具合。
• 接続PCAに不具合がある。