1147   エラー: プラズマ消火時に、ゲート弁が閉まりません。

プラズマの消火時にゲート弁が閉じません。

ゲート弁の動作をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• ゲート弁の故障。
• ゲート弁の接続PCAまたは電磁弁に不具合がある。
• 抽出用オメガレンズが正しく設置されていません。アルゴンガス源の圧力が低すぎます。