1149   エラー: 真空圧力（BK）が高いため、ターボポンプを起動 できません。

真空圧力（IF/BK）が制限値を超えているため、ターボ分子ポンプを起動できません（スタンバイモードの場合）。

真空圧力（IF/BK）をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• ベントバルブが閉じていないか、シールが不完全である。
• 真空チャンバのカバーが閉じていないか、シールが不完全である。
• フォアラインポンプの電源が接続されていないか、ブレーカがオフである。
• フォアラインポンプのオイルレベルが低いか、オイルが汚れている。
• ゲート弁に漏れがある。
• 真空チューブが故障している（チューブがオフか、ピンホールやO-リングの不良など不完全なシールのため漏れが発生している）。
• ピラニーゲージ（IF/BK）または接続PCAに不具合がある。
• ターボポンプのバッキングポートとフォアラインポンプの入力間のバッキングラインに漏れがある。