1154   エラー: ゲート弁が開いているため、真空シーケンスを開始することができません。

以下の問題の可能性がないかチェックしてください。

• ゲート弁のアクチュエータが手動で開側に設定されている。
• ゲート弁センサが故障しているか、センサケーブルが外れている。