1158   エラー: イオンゲージメーターの測定値が範囲外です（停止 -> スタンバイ）。

イオンゲージの真空圧力値が、指定された値の範囲内にありません（装置が停止モードからスタンバイモードへ移行中の場合）。

真空圧力（IF/BK）をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• ベントバルブが閉じていないか、シールが不完全である。
• 真空チャンバのカバーが閉じていないか、シールが不完全である。
• フォアラインポンプの電源が接続されていないか、ブレーカがオフである。
• フォアラインポンプのオイルレベルが低いか、オイルが汚れている。
• ゲート弁に漏れがある。
• 真空チューブが故障している（チューブがオフか、ピンホールやO-リングの不良など不完全なシールのため漏れが発生している）。
• ピラニーゲージ（IF/BK）または接続PCAに不具合がある。