1159   エラー: バッキングの真空度が高いためイオンゲージを起動できません。

ピラニーゲージの真空圧力値が、イオンゲージの指定された値の範囲内にありません。

以下の原因が考えられます。

• イオンゲージのシステムパラメータの誤った設定。
• イオンゲージの故障。
• ピラニーゲージ（IF/BK）または接続PCAに不具合がある。