1171   エラー: ターボポンプ2が分析モードの目標速度になっていません。

ターボ分子ポンプ2（小型ポンプ）の回転数が制限値未満になりました（分析モード）。

ターボ分子ポンプ2の回転数と電流、真空圧力（AN）、真空圧力（IF/BK）、および電圧をチェックしてください。次の原因が考えられます。

• 真空圧力が増加している。

• ターボ分子ポンプのコネクタが外れている。

• ターボ分子ポンプの電源の故障。

• ターボ分子ポンプまたはターボ分子ポンプコントローラの故障。

• 接続PCA に不具合がある。

• QQQ システム I/O PCA に不具合がある。