1202   エラー: RF 反射電力が規定時間内に下がりません。

プラズマRF反射電力が制限値未満になりません（装置がスタンバイモードから分析モードへ移行中の場合）。

プラズマRF反射電力をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• トーチ、ボンネット、およびシールドプレートの取り付けに不備がある。
• RFマッチングのチューニングパラメータの制限が不適切である。
• シャントキャパシタ項目のシステムパラメータの制限が不適切である。
• プラズマRFケーブルが外れているか、ケーブルに欠陥がある。
• シャントキャパシタの故障。

RFジェネレータの電力制御パラメータが更新されていません。スクリプトを使って、更新してください。詳しくは、サービスノート7700-042を参照してください。