1203   エラー: プラズマが点火しません。

プラズマが点火しませんでした（装置がスタンバイモードから分析モードへ移行中の場合）。

プラズマRF順方向電力および反射電力、アルゴンガスライン圧力、および流量をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• トーチ、ボンネット、およびシールドプレートの取り付けに不備がある。
• ワークコイルの位置が正しくない。
• アルゴンガスが供給されていないか、ガスラインに漏れがある。
• 空気がアルゴンガスに混じっている。
• RFマッチングのチューニングパラメータの制限が不適切である。
• シャントキャパシタ項目のシステムパラメータの制限が不適切である。
• プラズマRFケーブルが外れているか、ケーブルに欠陥がある。
• シャントキャパシタの故障。
• RFジェネレータへの電源ケーブルが外れている。
• RFジェネレータの故障。