パージ後、所定の時間内にターボ分子ポンプの回転数が制限値未満になりませんでした。ターボ分子ポンプの電源が強制的にOFFになりました（装置がスタンバイモードから停止モードへ移行中の場合）。
ターボ分子ポンプの回転数と電流をチェックしてください。このエラーの検出後は、ターボ分子ポンプの回転数と電流の表示が不正になります。回転数と電流をチェックするには、もう一度スタンバイモードから開始します。
パージ後、ターボ分子ポンプの回転数が下がらない場合、以下の原因が考えられます。