1210   エラー: RF FET ドレイン電流が異常です（上限値以上）。

プラズマ RF アンプの FET ドレイン電流の出力が制限値を超えています。

プラズマ RF アンプの出力 FET ドレイン電流、プラズマRF順方向電力、反射電力、アルゴンガスライン圧力、および流量をチェックしてください。プラズマ RF 反射電力が高い場合、自動調整を使用して反射電力を下げます（チューンモードペインのコンテキストメニューから [詳細] － [オート RF マッチング]（。以下の原因が考えられます。

• トーチ、ボンネット、およびシールドプレートの取り付けに不備がある。
• アルゴンガスが供給されていないか、ガスラインに漏れがある。
• 空気がアルゴンガスに混じっている。
• RFマッチングのチューニングパラメータの制限が不適切である。
• シャントキャパシタ項目のシステムパラメータの制限が不適切である。
• プラズマRFケーブルが外れているか、ケーブルに欠陥がある。
• シャントキャパシタの故障。マッチングネットワークの不備。
• RFジェネレータの故障。