1213   エラー: RF48V 電源電圧異常（下限値以下）。

RF 48V の電圧が制限値未満です。

RF 48V 電源の電圧をチェックしてください。RF 48V は S24V が供給されます。

以下の原因が考えられます。

• 分析モードでフードが開いている。
• プラズマが突然消えた。
• 電源の故障。
• RF ジェネレータの故障。