1214   エラー: RF FET 温度上昇。

出力 FET 温度が制限値を超えています。

プラズマ RF アンプ温度、プラズマ RF 冷却水流量、プラズマ RF 順方向電力、反射電力、アルゴンガスライン圧力、および流量をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• 冷却水流量の不足による、冷却水の温度の上昇。
• 空気がアルゴンガスに混じっている。
• RF マッチングのチューニングパラメータの制限が不適切である。
• シャントキャパシタ項目のシステムパラメータの制限が不適切である。
• プラズマ RF ケーブルが外れているか、ケーブルに欠陥がある。
• シャントキャパシタの故障。マッチングネットワークの不備。
• RF ジェネレータ出力 FET の取り付けに不備がある（熱伝導補助剤が劣化している）。
• RF ジェネレータの故障。