1215   エラー: RF FET ドレイン電圧が高すぎます。

プラズマ RF アンプの FET ドレイン電圧の出力が制限値を超えています。

プラズマ RF 反射電力が高い場合、自動調整を使用して反射電力を下げます（[チューニング] ウィンドウの [チューン] － [RF マッチング]）。

プラズマ RF アンプの FET ドレイン電圧の出力、プラズマ RF 順方向電力、反射電力、アルゴンガスライン圧力、および流量をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• RF アンプ方向カップラの不適切な接続（コネクタが外れている）。
• トーチ、ボンネット、およびシールドプレートの取り付けに不備がある。
• アルゴンガスが供給されていないか、ガスラインに漏れがある。
• 空気または N2 がアルゴンガスに混じっている。
• RF マッチングのチューニングパラメータの制限が不適切である。
• シャントキャパシタ項目のシステムパラメータの制限が不適切である。
• プラズマ RF ケーブルが外れているか、ケーブルに欠陥がある。
• シャントキャパシタの故障。マッチングネットワークの不備。
• プラズマ RF ジェネレータの故障。