1216   エラー: RF 出力がアンバランスです。

プラズマ RF アンプ出力がアンバランスです。

プラズマ RF 順方向電力、反射電力、アルゴンガスライン圧力、および流量をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• RF アンプ方向カップラの不適切な接続（コネクタが外れた）。
• トーチ、ボンネット、およびシールドプレートの取り付けに不備がある。
• RF ジェネレータの故障。