1219   エラー: 真空（IF）排気処理中に、プラズマが消えました。

プラズマが消えています（装置がスタンバイモードから分析モードへ移行中の場合）。

アルゴンガスライン圧力および流量をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• トーチ、ボンネット、およびシールドプレートの取り付けに不備がある。
• アルゴンガスが供給されていないか、ガスラインに漏れがある。
• 空気がアルゴンガスに混じっている。
• プラズマ RF ケーブルが外れているか、ケーブルに欠陥がある。
• シャントキャパシタの故障。
• RF ジェネレータへの電源ケーブルが外れている。
• RF ジェネレータの故障。