1220   エラー: 分析中にプラズマが消えました（真空監視）。

プラズマが消えています（分析モードの場合、またはメンテナンス中）。

アルゴンガスライン圧力および流量をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• トーチ、ボンネット、およびシールドプレートの取り付けに不備がある。
• アルゴンガスが供給されていないか、ガスラインに漏れがある。
• 空気がアルゴンガスに混じっている。
• RF マッチングのチューニングパラメータの制限が不適切である。
• プラズマRFケーブルが外れているか、ケーブルに欠陥がある。
• シャントキャパシタの故障。
• RF ジェネレータへの電源ケーブルが外れている。
• RF ジェネレータの故障。
• DC 電源の故障。