1223   エラー: RF ドレイン電圧異常です（下限値以下）。

RF ジェネレータの FET ドレイン電圧の出力が制限値未満になりました。

以下の原因が考えられます。

• 分析モードでトップカバーが開いている。
• プラズマが突然消えた。
• RF ジェネレータの故障。