1226   エラー: RF アンプ冷却ファン異常。

RF ジェネレータ冷却ファンの回転数が制限値未満になりました。

RF ジェネレータ冷却ファンの回転数をチェックしてください。冷却ファン、冷却ファンの配線、またはプラズマ RF ボードのいずれかが故障しています。RF ジェネレータを交換してください。