1230   エラー: ゲート弁を開くときにプラズマがシャットオフしました。

以下の原因が考えられます。

• ゲート弁と Ar AMFC の間の Ar ガスラインに漏れがある。
• ゲート弁とシールド接点の間の Ar ガスラインに漏れがある。