1231 エラー: ゲート弁を開いた後、プラズマがシャットオフしました。
ゲート弁を開いた後でプラズマが消えました。
以下の原因が考えられます。
スプレーチャンバがサンプルで満たされ、サンプルがトーチ内に噴出しました。
ネブライザが不安定です。
2024-07-01