1302   エラー: +600V 電源異常（供給電圧が下限値以下）。

QP ドライバユニットの DC/DC コンバータ（+600V）の電圧が制限値未満になりました。

QP ドライバの+600V電圧をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

（メモ: 再始動するには、プラズマをいったんOFFにします。）

• 48Vが供給されない（カバーが開いている）。
• QP関連のケーブルが外れている。
• QPロッドまたはQP関連の配線（真空チャンバを含む）により、ほかの金属パーツでショートが生じている。
• QP電源ボードまたはQPドライバボードが故障している。