1304   エラー: -720V 電源異常（供給電圧が下限値以下）。

QP ドライバユニットの DC/DC コンバータ（-720V）の電圧が制限値未満になりました。

QP ドライバの -720V 電圧をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

（メモ: 再始動するには、プラズマをいったん OFF にします。）

• 48V が供給されない（カバーが開いている）。
• QP 関連のケーブルが外れている。
• QP ロッドまたは QP 関連の配線（フィードスルーケーブルおよびブリッジケーブルを含む）により、ほかの金属パーツでショートが生じている。
• QP タンク PCA または QP コントローラ PCA が故障している。