1309   エラー: オクタポール フィードバック異常。

オクタポールの RF 電圧を制御できません。

オクタポールの RF 電圧をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• 48V が供給されない（カバーが開いている）。
• オクタポールロッドまたはリアクションセル関連の配線（真空チャンバを含む）により、ほかの金属パーツでショートが生じている。
• オクタポールマッチング周波数が適切でない。
• ORS セルドライバ PCA の不具合。