1352   エラー: Q ポール 1 +600V 電源異常（供給電圧が下限値以下）。

QP1 ドライバユニットの DC/DC コンバータ（+600V）の電圧が制限値未満になりました。

QP1 ドライバの +600V 電圧をチェックしてください。次の原因が考えられます。

（注意：再始動するには、プラズマをいったん OFF にします。）

• S24V が供給されていない（カバーが開いている）。

• QP1 関連のケーブルが外れている。

• QP1 ロッドまたは QP1 関連の配線（真空チャンバを含む）により、ほかの金属パーツでショートが生じている。

• QP1 タンク PCA、QP1 コントローラ PCA のいずれかが故障している。