1439   エラー: 第 3 MFC アセンブリを交換してください。マスフローアセンブリの NH3 ガスバルブが完全に閉じません。

第3 MFC ガスシステムにガス漏れがあります。スタンバイモードに切り換え、第3 セルガスバルブを閉じてから流量を確認し、少なくとも 0.35mL/分の速度でガスが流れていることを確認してください。

ガスの配管系に漏れがないかチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• ガス配管の接続部分からの漏れ。
• ガスパイプまたはホースの劣化および損傷。
• 第 3 マスフローコントローラモジュールの故障。