1440   エラー: 冷却水の流量（IF）が低すぎます。 スプレーチャンバ温度コントロール停止。

冷却水（RF/WC/IF）の流量が制限値未満のため、スプレーチャンバの冷却が停止しています。

冷却水の流量をチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• 冷却水供給の電源が入っていない。
• 冷却水バルブが閉じている。
• 冷却水が不足している（水漏れの可能性あり）。
• 冷却水チューブの詰まりおよび漏れ。
• 冷却ストレーナが詰まっている。
• 冷却水供給の不具合。
• イントロダクション PCA の故障。