1441   エラー: S/C温度（L）が高すぎます。

スプレーチャンバ（L）の温度が制限値を超えています。

以下の問題の可能性がないか、スプレーチャンバ（L）の温度をチェックしてください。

• スプレーチャンバの冷却水コネクタが外れている。
• スプレーチャンバの故障。
• 導入PCAの故障。