1442 エラー: S/C温度(L)が低すぎます。
スプレーチャンバ(L)の温度が制限値未満です。
以下の問題の可能性がないか、スプレーチャンバ(L)の温度をチェックしてください。
スプレーチャンバの故障。
導入 PCA の故障。
2024-07-01