1445   エラー: プラズマガス流量が異常（下限値以下）。

プラズマガス流量が制限値未満です。

プラズマガスの流量をチェックしてください。アルゴンタンクの圧力もチェックしてください。

以下の原因が考えられます。

• アルゴンタンクの圧力が低下した。
• 詰まりや切断などのガスラインの故障。
• アルゴンガスの電磁弁の故障（コネクタが外れている）。
• Ar ガス AMFC モジュールコネクタの故障。
• Ar ガス AMFC モジュールの故障。
• 導入 PCA の故障。