1449 エラー: S/C 温度(H)が高すぎます。
スプレーチャンバ(H)の温度が異常に上昇しています。
スプレーチャンバ(H)の温度と冷却水の流量をチェックしてください。
以下の原因が考えられます。
スプレーチャンバ冷却水の減少(チューブが詰まっているか外れている)。
スプレーチャンバコネクタの故障(コネクタが外れている)。
スプレーチャンバの故障。
導入 PCA の故障。
2024-07-01