1450   エラー: S/C温度（H）が低すぎます。

スプレーチャンバ（H）の温度が異常に低下しています。

スプレーチャンバ（H）の温度と冷却水の流量をチェックしてください。

以下の原因が考えられます。

• 冷却水の温度が異常に低い。
• スプレーチャンバコネクタの故障。
• スプレーチャンバの故障。
• 導入 PCA の故障。