1456   エラー: Ar ガスコントローラ（AMFC）異常。

装置のキャリブレーションチェック中の Ar ガス AMFC モジュールのエラーです。

装置を再起動して、エラーを確認してください。以下の原因が考えられます。

• ケーブルの切断、不適切な接続、または故障。
• Ar ガス AMFC モジュールの故障。