1466   エラー: オプションガス流量が許容範囲外です。

オプショナルガスの流量が制限値未満です。

オプショナルガスの流量と圧力をチェックしてください。以下の問題がないか、オプションガスタンクの圧力をチェックしてください。

• 詰まりや切断などのガスラインの不具合。
• アルゴンガスの電磁弁の故障）コネクタが外れている）。
• マスフローコントローラコネクタの故障。
• マスフローコントローラの故障。
• 導入 PCA の故障。