2150   注意: 真空（IF）が低すぎます。

真空圧力（IF/BK）が制限値未満です（分析モードの場合）。

以下の問題の可能性がないか、真空圧力（IF/BK）をチェックしてください。

• サンプリングコーンのオリフィスが小さすぎるか詰まっています。
• スキマコーンのオリフィスが小さすぎるか詰まっています。