2151   注意: 真空（IF）が上昇しています。

真空圧力（IF/BK）が制限値を超えています（分析モードの場合）。

以下の問題の可能性がないか、真空圧力（IF/BK）をチェックしてください。

• サンプリングコーンのオリフィスが大きすぎる。
• サンプリングコーンのシールが不完全である（ガスケットの欠陥）。
• プラズマがサンプリングコーンから離れすぎている。
• フォアラインポンプのオイルレベルが低いか、オイルが汚れている。
• 真空チューブが故障している（チューブがオフか、ピンホールや O-リングの不良など不完全なシールのため漏れが発生している）。
• 真空チャンバに水滴が入り込んだ。