2153   注意: 真空（AN）が上昇しています。

真空圧力（AN）が制限値を超えています（スタンバイモードの場合）。

以下の問題の可能性がないか、真空圧力（AN）をチェックしてください。

• フォアラインポンプの電源が接続されていないか、ブレーカがオフである。
• フォアラインポンプのオイルレベルが低いか、オイルが汚れている。
• 真空チューブが故障している（チューブがオフか、ピンホールやO-リングの不良など不完全なシールのため漏れが発生している）。
• ベントバルブが閉じていないか、シールが不完全である。
• 真空チャンバのカバーが閉じていないか、シールが不完全である。
• ゲート弁に漏れがある。
• イオンゲージまたは接続PCAに不具合がある。